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    “中国芯”关键材料国产化

    三甲硅烷基胺 (TSA)
    • 中文名:三甲硅烷基胺
    • 英文名:Trisilylamine
    • CAS号:13862-16-3
    • 用途:通过流动化学气相沉积(FCVD)形成氧化硅
    • 纯度指标:99.65%
    • 规格:公斤级
    二异丙氨基硅烷 (DIPAS)
    • 中文名: 二异丙氨基硅烷
    • 英文名:Diisopropylaminosilane
    • CAS号:908831-34-5
    • 用途:通过化学气相沉积(CVD)形成含硅薄膜
    • 纯度指标:8N
    • 规格:公斤级
    四氯化钛 (Ticl₄)
    • 中文名:四氯化钛
    • 英文名:Titanium tetrachloride
    • CAS号:7550-45-0
    • 熔点:-25℃
    • 沸点:135 - 136 °C
    • 蒸气压:12.8 hPa 在 20 °C
    • 产品等级:6N
    • 规格:15kg
    四乙氧基硅烷 (TEOS)
    • 中文名:四乙氧基硅烷
    • 英文名:Tetraethoxysilane
    • CAS号:1978-10-4
    • 熔点:-82.49℃
    • 沸点:168°C
    • 蒸气压:10.0 hPa 在 20℃
    • 产品等级:9N
    • 规格:17.7kg、35kg、200kg
    a-松油烯 (ATRP)
    • 中文名:a-松油烯
    • 英文名:1-Isopropyl-4-methyl-1,3-cyclohexadiene
    • CAS号:99-86-5
    • 沸点:173-175℃
    • 产品等级:7N5
    • 规格:5kg、10kg、14kg、31kg
    二乙氧基甲基硅烷 (DEMS)
    • 中文名:二乙氧基甲基硅烷
    • 英文名:Diethoxy-methylsilane
    • CAS号:2031-62-1
    • 沸点:94-95℃
    • 蒸气压:40.10 hPa 在 20℃
    • 产品等级:8N
    • 规格:5kg、10kg、14kg、31kg
    双(二乙氨基)硅烷 (BDEAS)
    • 中文名: 双(二乙氨基)硅烷
    • 英文名:Bis(diethylamino)silane
    • CAS号:27804-64-4
    • 熔点:<-10℃
    • 沸点:188℃
    • 产品等级:5N
    • 规格:10kg
    六氯乙硅烷(HCDS)
    • 中文名:六氯乙硅烷
    • 英文名:Hexachlorodisilane
    • CAS号:13465-77-5
    • 沸点:144 - 145.5℃
    • 产品等级:6N
    • 规格:13kg