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    “中国芯”关键材料国产化

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    六氟化硫(SF₆)
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    六氟化硫(SF₆)
    • 中文名：六氟化硫
    • 英文名：Sulfur hexafluoride
    • CAS号：2551-62-4
    • 熔点：-50.8℃
    • 沸点：-63.8℃
    • 蒸气压：21.5atm
    • 产品等级：电子级：5N 工业级：4.5N、5N
    • 电子级：47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工业级：6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
    三氟化氮(NF₃)
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    三氟化氮(NF₃)
    • 中文名：三氟化氮
    • 英文名：Nitrogen trifluoride
    • CAS号：7783-54-2
    • 熔点：-208.5℃
    • 沸点：-129℃
    • 蒸气压：>1atm
    • 产品等级：4.6N
    • 规格 ：47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
    磷烷安全源(PH₃)
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    磷烷安全源(PH₃)
    • 中文名：磷烷安全源
    • 英文名：Phosphine AGS
    • CAS号：7803-51-2
    • 熔点：-133℃
    • 沸点：-87.7℃
    • 蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
    • 产品等级：5N7
    • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氢(AsH₃)
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    砷化氢(AsH₃)
    • 中文名：砷化氢
    • 英文名：Arsine
    • CAS号：07784-42-1
    • 熔点：-116℃
    • 沸点：-62.5℃
    • 蒸气压：1463kPa(20℃)
    • 产品等级：6N、6N5
    • 规格：40L
    三氟化硼安全源(BF₃)
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    三氟化硼安全源(BF₃)
    • 中文名：三氟化硼安全源
    • 英文名：Boron Trifluoride AGS
    • CAS号：07784-42-1
    • 熔点：-126.8℃
    • 沸点：-100℃
    • 蒸气压：1013.25kPa(-58℃)
    • 产品等级：3N
    • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氢(PH₃)
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    磷化氢(PH₃)
    • 中文名：磷化氢
    • 英文名：Phosphine
    • CAS号：7803-51-2
    • 熔点：-133℃
    • 沸点：-87.7℃
    • 蒸气压：53.32kpa（-98.3℃）
    • 产品等级：6N、6N5
    • 规格：44L
    安全源砷烷(AsH₃)
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    安全源砷烷(AsH₃)
    • 中文名：砷烷安全源
    • 英文名：Arsine AGS
    • CAS号：07784-42-1
    • 熔点：-116℃
    • 沸点：-62.5℃
    • 蒸气压：1463kPa(20℃)
    • 产品等级：5N5
    • 规格：0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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