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    “中国芯”关键材料国产化

    六氟化硫(SF₆)
    • 中文名:六氟化硫
    • 英文名:Sulfur hexafluoride
    • CAS号:2551-62-4
    • 熔点:-50.8℃
    • 沸点:-63.8℃
    • 蒸气压:21.5atm
    • 产品等级:电子级:5N 工业级:4.5N、5N
    • 电子级:47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工业级:6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
    三氟化氮(NF₃)
    • 中文名:三氟化氮
    • 英文名:Nitrogen trifluoride
    • CAS号:7783-54-2
    • 熔点:-208.5℃
    • 沸点:-129℃
    • 蒸气压:>1atm
    • 产品等级:4.6N
    • 规格 :47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
    磷烷安全源(PH₃)
    • 中文名:磷烷安全源
    • 英文名:Phosphine AGS
    • CAS号:7803-51-2
    • 熔点:-133℃
    • 沸点:-87.7℃
    • 蒸气压:53.32kpa(-98.3℃)
    • 产品等级:5N7
    • 规格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    砷化氢(AsH₃)
    • 中文名:砷化氢
    • 英文名:Arsine
    • CAS号:07784-42-1
    • 熔点:-116℃
    • 沸点:-62.5℃
    • 蒸气压:1463kPa(20℃)
    • 产品等级:6N、6N5
    • 规格:40L
    三氟化硼安全源(BF₃)
    • 中文名:三氟化硼安全源
    • 英文名:Boron Trifluoride AGS
    • CAS号:07784-42-1
    • 熔点:-126.8℃
    • 沸点:-100℃
    • 蒸气压:1013.25kPa(-58℃)
    • 产品等级:3N
    • 规格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
    磷化氢(PH₃)
    • 中文名:磷化氢
    • 英文名:Phosphine
    • CAS号:7803-51-2
    • 熔点:-133℃
    • 沸点:-87.7℃
    • 蒸气压:53.32kpa(-98.3℃)
    • 产品等级:6N、6N5
    • 规格:44L
    安全源砷烷(AsH₃)
    • 中文名:砷烷安全源
    • 英文名:Arsine AGS
    • CAS号:07784-42-1
    • 熔点:-116℃
    • 沸点:-62.5℃
    • 蒸气压:1463kPa(20℃)
    • 产品等级:5N5
    • 规格:0.44L、2.2L、3.0L、6.6L
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