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    “中国芯”关键材料国产化

    六氟化硫(SF₆)
    • 中文名:六氟化硫
    • 英文名:Sulfur hexafluoride
    • CAS号:2551-62-4
    • 熔点:-50.8℃
    • 沸点:-63.8℃
    • 蒸气压:21.5atm
    • 产品等级:电子级:5N 工业级:4.5N、5N
    • 电子级:47L(50kg)、440L(500kg)、880L(1100kg) 工业级:6L(8kg)、8L(10kg)、10L(12kg)、12L(15kg)、15L、40L(50kg)、47L(50kg)
    三氟化氮(NF₃)
    • 中文名:三氟化氮
    • 英文名:Nitrogen trifluoride
    • CAS号:7783-54-2
    • 熔点:-208.5℃
    • 沸点:-129℃
    • 蒸气压:>1atm
    • 产品等级:4.6N
    • 规格 :47L(20kg)、440L(200kg)、bundle(320kg)、8800L(4000kg)、13200(6000kg)、18800L(8000kg)
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